沈阳仪表科学研究院有限公司16&8工位磁控溅射镀膜机采购项目公开招标公告
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沈阳仪表科学研究院有限公司16&8 工位磁控溅射镀膜机采购项目
公开招标公告
招标编号：XDZH-2024YBHW-05
公告发布时间：2024 年 4 月 11 日
招标条件
本招标项目为 16&8 工位磁控溅射镀膜机采购项目，招标人为沈阳仪表科学 研究院有限公司，资金来源为国企自筹资金。该项目已具备招标条件，现对 16&8 工位磁控溅射镀膜机采购项目进行公开招标。项目概况与招标范围
2.1 招标内容：16&8 工位磁控溅射镀膜机 1 台。
2.2 主要技术参数
2.2.1 真空系统
① 抽速：大气到 3*10-3Pa 小于 20 分钟，到 2*10-3Pa 小于 30 分钟。② 漏率：3*10-3Pa 到 3*10-2Pa 大于 5 分钟。
③ 极限真空：5×10-4Pa。
① 必须使用Φ106*5，Ni80Cr20 靶材。② 溅射稳定性：光密度最大最小偏差小于 1%。③ 溅射重复性：最大最小光密度偏差小于 3%。2.3 交货期：90 天。
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2.2.2 镀膜工件盘定位精度：工位中心与固定点的偏差小于 0.1mm。2.2.3 磁控溅射靶
2.4 交货地点：沈阳市大东区北海街 242 号。投标人资格要求
3.1 投标单位应具有独立法人资格；
3.2 制造商应具有两年以上相关产品的生产经验；
3.3 代理商参与投标，必须提供制造商出具的授权函原件，应具有三年以上 相关产品的销售经验；
3.4 本次招标 不接受 联合体投标。招标文件的获取
4.1 发售时间：2024 年 4 月 12 日 9:00 时至 2024 年 4 月 18 日 16:00 时
（北京时间），节假日除外。
4.2 招标文件每套售价 300 元，售后不退。
4.3 招标文件购买方式：在发售时间内，于沈阳市皇姑区昆山中路万众商务
大厦 1705 室现场领购或通过电子邮件 xdgj_yby@yeah.net 提交资格文件和获取
招标文件。资格文件包括：投标人和制造商独立法人资格证明、法人代表证明、
法定代表人签署的委托代理人授权书等。投标文件的递交
5.1 投标文件递交的截止时间为 2024 年 5 月 9 日 9 时 30 分前现场递
交至北京兴电国际工程管理有限公司会议室（地址：沈阳市皇姑区昆山中路 2 号
万众商务大厦）。
5.2 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文
件，招标人将予以拒收。发布公告的媒介
本 公 告 在 中 国 招 标 投 标 公 共 服 务 平 台 网 站
（http://www.cebpubservice.com/）上发布，因轻信其他组织、个人或媒介提
供的信息而造成损失的，招标人、招标代理机构概不负责。
地 址：沈阳市大东区北海街 242 号
联 系 人：潘浩
电 话：02482240270
弋理部
招 标 人：沈阳仪表科学研究院有限公司
招标代理机构：北京兴电国际工程管理有限公司
地 址：沈阳市皇姑区昆山中路 2 号
联 系 人：登录即可免费查看
联系电话：登录即可免费查看
电子邮箱：xdgj_yby@yeah.net
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）： （签名）
招标人或其招标代理机构： （盖章）
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